数控多晶硅双面磨床保养与维修

　　“WSK011A型数控多晶硅双端面磨床”适用于太阳能行业多晶硅长方体的四平面的加工，长方体横截面的几何精度可达到有关的技术标准，平面的平面度≤0.02mm，尺寸误差≤0.02mm，直角度90°，粗糙度达到0.2?，故此，磨面机床的保养及其维修关乎加工精度要求是否能通过合格检验，生产出合格产品的关键。 

　　1 数控多晶硅双端面磨床的主要构造部件 

　　机床本身、工作台面（X、U、Z）、磨头、冷却管路、油路。 

　　2 数控多晶硅双端面磨床保养前的准备工作 

　　双面磨床保养前，首先对机床的使用情况有所了解，并做出必要的检测精度，根据机床精度丧失的情况及存在的问题做出相应的修理保养方案与验收要求。其中，主要检测的精度有以下几类：（1）本身的水平度误差；（2）工作台面的晃动误差；（3）磨头左右、前后的晃动误差；（4）冷却管路是否畅通（水量如何）；（5）油路是否通路。 

　　补充说明：磨头转动，冷却水路通畅，磨头停止，冷却水停； 

　　修理时所需的专业工具和量仪： 

　　名称 规格 数量 用途 

　　万用表 1 测量电源是否关闭 

　　90°角尺 200*300 1 测量气缸支架的垂直度 

　　百分表 1 测量磨头跳动精度、导轨安装精度 

　　扇形量尺 1 测量丝杆、导轨安装精度 

　　水平尺 1 测量机床本身的水平度 

　　3 双面磨床的保养工艺及其措施 

　　3.1 双面磨床的保养工艺 

　　工作之前人身安全最为重要，劳保用品必须穿戴齐全（包括：口罩、劳保鞋、手套等）。 

　　把磨面切入手动状态，用耳朵去听有无异常声响。 

　　拆卸下设备防护罩，切断电源。 

　　用百分表四个磨头的跳动精度。 

　　注：a：主轴定心锥面的径向跳动≤0.008mm 

　　b：主轴的轴向窜动≤0.008mm 

　　测量磨头的砂轮架移动时对工作台面移动的垂直度和磨头跳动量。 

　　测量工作台面的纵向、径向精度。 

　　注：a：在垂直平面内 

　　b：在水平平面内 

　　测量机床本身的水平度。 

　　清理配电柜灰尘。 

　　检测油路、气路、水路是否畅通。 

　　3.2 传动机构主要部件的修理 

　　009双面磨床的传动机构有三种，分别是：X、U、Z。而Z轴工作台面轨道的类型有两种：导轨加滑块、台面上下耐磨条型。 

　　磨床床身传动机构在长期不停歇的使用过程中，使接触表面产生不同程度的磨损，也会产生严重的刮痕、拉毛。严重时影响磨床的加工精度和生产效率。传动机构是导轨和滑块型的。如果检测到损坏至无法使用时，那只有更换新的导轨和滑块，直接重新安装、调试。而传动机构如果是耐磨条型的就比较麻烦。 

　　在这里就介绍一下耐磨条型传动机构的更换工艺： 

　　（1）清除旧的/已磨损的耐磨条。用美工刀清除大块的耐磨条（小心工作台轨导划伤），然后，用钢丝加磨光机清除小块杂物，使轨道表面看起来清洁、光滑。 

　　（2）预加工。使工件表面具有适当的粗超度，有利于胶粘剂的渗透和提高工作台面的结合程度，但是一般来说粗糙度又不能过于一定的界限，表面太粗糙反而会降低粘度强度。 

　　（3）表面脱油清洗。脱油清洗是保证工作台面和耐磨条结合的重要一环，结合不好，耐磨条很容易脱落，从而造成保养的质量。一般现用汽油粗洗，对台面的浮油赃物进行一般清洗，然后用工业酒精擦拭直至全部去油，再用热水冲洗擦干。 

　　（4）涂胶、粘胶。涂胶的厚度一般没有什么要求，一般使表面涂均匀即可。涂好胶水后进行粘胶，结合（注：v型槽粘胶是1.5mm的耐磨条，直线是3.0mm的耐磨条）。 

　　（5）用水平尺进行校准。耐磨条胶粘好后，用水平尺校水平，精度一般在于≤0.5mm 

　　（6）压板压试。用专用压板压试，放在通风地方于24h 

　　（7）去除多余胶，开油槽。清洁，把渗透到旁边的多余胶水清理干净，开油槽，一般新的耐磨条都没有油槽，根据机床相应的油喷嘴进行开油槽，使运转时润滑油，减少耐磨条之间的摩擦，从而增加使用寿命。 

　　实践证明，轨道要更换新的耐磨条，一定要小心仔细，各个环节都要到位，要不然就会影响保养质量和后面的生产工序。 

　　4 磨床试车验收工作 

　　多晶磨床和其他机床一样，主传动机构装备完毕后，必须先进行空转试验，其次，观察整体运行情况。 

　　4.1 空转试验前的准备 

　　清除各个部件安装时遗留的的脏物，并用汽油清洗。 

　　用手动方式检查机床全部机构的动作情况，并保证没有其他不正常的现象。 

　　检查各个油、气、水路的畅通情况，不得有泄漏的现象。 

　　各个润滑油泵注油到标准位置。 

　　安装各个防护盖。 

　　检查四个磨头的运转方向，看是否有反转的现象。 

　　准备一个标准硅锭。 

　　4.2 调试 

　　调试生产机器对于生产出合格的硅片起着十分重要的作用，因此对保养好设备的调试要十分的认真仔细，一般对双面磨的调试可分为以下几点：（1）把标准锭放在放料架上，气缸压紧；（2）进入手动方式，把夹好的标准锭分别移动到粗磨磨头。精磨磨头位置，粗步调整四个磨头的位置，使砂轮尽量和标准锭保持垂直；（3）分别调整放料架自动方式时到粗磨.精磨以及结束的磨削位置。拿出标准锭；（4）放入作料锭，用手柄方式进行四个磨头的对刀；（5）转入自动方式，在屏幕里输入对刀参数；（6）启动；（7）磨削完成之后，根据实际的情况进行微调整。 

　　5 提高双面磨床的使用寿命 

　　保持磨床导轨、丝杆、滑块精度，对产品的加工质量.产量和降低维修成本，有着直接的影响，因此，为了提高机床的使用寿命应注意以下几点：（1）加强导轨、丝杆的润滑和防护，减小摩擦，防止粉尘和杂物进去；（2）加强对油泵的巡检力度，以防止机床在不供油的状态下使用，这样会加快对导轨和丝杆的磨损程度；（3）增强机械设备的润滑程度。感觉哪里有润滑不到位、润滑不理想的地方加以改造与修复；（4）加强对机械设备的管理制度，增强员工过设备的责任心。